Сыек азот суыту системалары ярымүткәргеч һәм чип индустриясендә киң кулланыла, шул исәптән,
- Молекуляр нур эпитаксы технологиясе (MBE)
- COB пакетыннан соң чип тесты
Бәйләнешле продуктлар
MOLECULAR BEAM EPITAXY
Молекуляр нур эпитаксы (MBE) технологиясе вакуум парга әйләнү технологиясе ярдәмендә ярымүткәргеч нечкә кино материалларын әзерләү өчен 1950-нче елларда эшләнгән. Ультра югары вакуум технологиясе үсеше белән, технологияне куллану ярымүткәргеч фәненә киңәйтелде.
HL MBE сыек азотны суыту системасына булган ихтыяҗны сизде, MBE технологиясе өчен махсус MBE сыек азот суыту системасын һәм күп предприятияләрдә, югары уку йортларында һәм фәнни-тикшеренү институтларында кулланылган вакуум изоляцияләнгән торба системасын уңышлы үстерү өчен техник арка сөяген оештырды. .
Ярымүткәргеч һәм чип индустриясенең гомуми проблемалары:
- Терминал (MBE) җиһазларына сыек азотның басымы. Терминал (MBE) җиһазларыннан басымның артык йөкләнүен булдырмагыз.
- Берничә криогеник сыеклык кертү һәм чыгу контроле
- Терминал җиһазларына сыек азотның температурасы
- Криоген газ чыгаруның акыллы күләме
- (Автоматик) Төп һәм филиал линияләрен күчү
- VIP басымны көйләү (киметү) һәм тотрыклылыгы
- Танктан мөмкин булган пычраклыкларны һәм боз калдыкларын чистарту
- Терминал сыек җиһазларның тутыру вакыты
- Торба үткәргече
- VIP системасында сыек каршылык
- Системаның өзлексез хезмәте вакытында сыек азотның югалуын контрольдә тоту
HL вакуум изоляцияләнгән торба (VIP) ASME B31.3 басым торбасы коды стандарт итеп төзелгән. Клиентлар заводының эффективлыгын һәм чыгым эффективлыгын тәэмин итү өчен инженерлык тәҗрибәсе һәм сыйфат белән идарә итү сәләте.
Чишелешләр
HL криоген җиһазлары клиентларга вакуум изоляцияләнгән торба системасы белән ярымүткәргеч һәм чип индустриясе таләпләрен канәгатьләндерә:
1.Сыйфат белән идарә итү системасы: ASME B31.3 басым торбасы коды.
2. Автоматик контроль функциясе булган күп криогеник сыеклык кертү һәм чыгу белән махсус фаза сепараторы газ чыгару, эшкәртелгән сыек азот һәм сыек азот температурасы таләпләренә җавап бирә.
3. Тиешле һәм вакытында эшкәртү дизайны терминал җиһазларының һәрвакыт эшләнгән басым бәясе эчендә эшләвен тәэмин итә.
4.Газ-сыек барьер вертикаль VI торбага VI торба ахырында урнаштырылган. Газ-сыек барьер газ мөһере принцибын куллана, VI торба ахырыннан җылылыкны VI торбага кертә, һәм системаның өзлексез һәм арадаш хезмәте вакытында сыек азот югалтуын нәтиҗәле киметә.
5. Вакуум изоляцияләнгән клапан (VIV) сериясе белән контрольдә тотыла: Вакуум изоляцияләнгән (пневматик) ябу клапаны, вакуум изоляцияләнгән клапан, вакуум изоляцияләнгән көйләү клапаны һ.б. VIP белән идарә итү өчен модульле булырга мөмкин. кирәк. VIV җитештерүчедә VIP префабрикациясе белән берләштерелгән, сайтта изоляцияләнмичә. VIV мөһер берәмлеген җиңел алыштырырга мөмкин. (HL клиентлар билгеләгән криогеник клапан брендын кабул итә, аннары вакуум изоляцияләнгән клапаннар HL ясый. Кайбер брендлар һәм клапаннар модельләре вакуум изоляцияләнгән клапаннарга ясалырга мөмкин түгел.)
6. Чисталык, эчке торба өслегенең чисталыгы өчен өстәмә таләпләр булса. Клиентларга тотрыксыз корыч агып төшүне тагын да киметү өчен BA яки EP дат басмас корыч торбаларны VIP эчке торбалар итеп сайларга тәкъдим ителә.
7. Вакуум изоляцияләнгән фильтр: мөмкин булган пычракларны һәм боз калдыкларын танктан чистартыгыз.
8. Берничә көннән яисә озаграк ябылганнан соң, VI торба һәм терминал җиһазларын криоген сыеклык керер алдыннан чистартырга кирәк, криогеник сыеклык турыдан-туры VI торба һәм терминал җиһазларына кергәннән соң боз шлагыннан саклану өчен. Дизайнда алдан эшкәртү функциясе каралырга тиеш. Бу терминал җиһазлары һәм клапаннар кебек VI торба җиһазлары өчен яхшырак саклауны тәэмин итә.
9. Динамик һәм статик вакуум изоляцияләнгән (сыгылмалы) торба системасы өчен костюм.
10.Динамик вакуум изоляцияләнгән (сыгылмалы) торба системасы: VI сыгылмалы шланглардан һәм / яки VI торбадан, джумпер шланглардан, вакуум изоляцияләнгән клапан системасы, фаза сепараторлары һәм динамик вакуум насос системасы (вакуум насослары, соленоид клапаннар һәм вакуум үлчәүләре һ.б.). ). Бердәм VI сыгылмалы шлангның озынлыгы кулланучы таләпләренә туры китереп көйләнергә мөмкин.
11. Төрле бәйләнеш төрләре: Вакуум баонет тоташуы (VBC) тибы һәм эретеп ябыштыру сайланырга мөмкин. VBC тибында изоляцияләнгән дәвалау кирәк түгел.