Технология
Молекуляр нур эпитаксисы, яки MBE, кристалл субстратларында югары сыйфатлы юка кристалл пленкаларын үстерү өчен яңа ысул. Югары вакуум шартларында җылыту миче барлык кирәкле компонентлар белән җиһазландырыла һәм пар барлыкка китерә, нур атом яки молекуляр нур белән коллимацияләнгәннән соң барлыкка килгән тишекләр аша монокристалл субстратның тиешле температурасына турыдан-туры инъекция ясала, молекуляр нур субстратка сканерлауны контрольдә тота, шул ук вакытта кристалл тигезләү катламнарындагы молекулалар яки атомнар субстратта юка пленка "үсеш" формалаштыра ала.
MBE җиһазларының нормаль эшләве өчен, югары чисталыклы, түбән басымлы һәм ультрачиста чиста сыек азотны җиһазның суыту камерасына өзлексез һәм тотрыклы рәвештә ташу кирәк. Гомумән алганда, сыек азот бирә торган бакның чыгу басымы 0,3 МПа һәм 0,8 МПа арасында була. -196℃ температурадагы сыек азот торбаүткәргеч транспорты вакытында җиңел парга әйләнә. Газ-сыеклык нисбәте якынча 1:700 булган сыек азот торбаүткәргечтә газлаштырылганнан соң, ул күп күләмдә сыек азот агымы урынын биләп алачак һәм сыек азот торбаүткәргече ахырындагы нормаль агымны киметәчәк. Моннан тыш, сыек азот саклау багында чистартылмаган чүп-чар булырга мөмкин. Сыек азот торбаүткәргечендә дымлы һава булу боз шлаклары барлыкка килүенә дә китерәчәк. Әгәр бу катнашмалар җиһазга чыгарылса, бу җиһазларга көтелмәгән зыян китерәчәк.
Шуңа күрә, тышкы саклау багындагы сыек азот тузансыз остаханәдәге MBE җиһазларына югары нәтиҗәлелек, тотрыклылык һәм чисталык белән ташыла, ә түбән басым, азот һәм пычраксызлык, тәүлек әйләнәсе өзлексез, мондый транспорт контроле системасы квалификацияле продукт булып тора.
MBE җиһазларын туры китерү
2005 елдан бирле HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) бу системаны оптимальләштерә һәм яхшырта, шулай ук халыкара MBE җиһазлары җитештерүчеләре белән хезмәттәшлек итә. DCA, REBER кебек MBE җиһазлары җитештерүчеләре безнең компания белән хезмәттәшлек мөнәсәбәтләренә ия. DCA һәм REBER кебек MBE җиһазлары җитештерүчеләре күп санлы проектларда хезмәттәшлек иттеләр.
Riber SA - кушылма ярымүткәргечләрне тикшерү һәм сәнәгать кушымталары өчен молекуляр нур эпитаксиясе (MBE) продуктлары һәм бәйле хезмәтләр белән тәэмин итүче әйдәп баручы глобаль компания. Riber MBE җайланмасы бик югары контроль белән субстратка бик нечкә материал катламнарын урнаштыра ала. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) вакуум җиһазлары Riber SA белән җиһазландырылган. Иң зур җиһаз - Riber 6000, ә иң кечкенәсе - Compact 21. Ул яхшы хәлдә һәм клиентлар тарафыннан танылган.
DCA - дөньяда алдынгы оксид MBE. 1993 елдан бирле оксидлашу техникасын, антиоксидант субстрат җылытуны һәм антиоксидант чыганакларын системалы рәвештә үстерү эшләре алып барыла. Шуңа күрә күп кенә алдынгы лабораторияләр DCA оксид технологиясен сайлыйлар. Композит ярымүткәргеч MBE системалары бөтен дөньяда кулланыла. HL криоген җиһазларының (HL CRYO) VJ сыек азот әйләнеше системасы һәм DCAның берничә моделенең MBE җиһазлары күп проектларда, мәсәлән, P600, R450, SGC800 һ.б., охшаш тәҗрибәгә ия.
Эшчәнлек таблицасы
| Кытай Фәннәр академиясенең Шанхай техник физика институты |
| Кытай электроника технологияләре корпорациясенең 11 нче институты |
| Кытай Фәннәр академиясенең Ярымүткәргечләр институты |
| Huawei |
| Alibaba DAMO академиясе |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Сучжоу Эвербрайт фотоникасы |
Бастырылган вакыты: 2021 елның 26 мае