Молекуляр нур эпитаксы, яки MBE, кристалл субстратларында кристаллларның югары сыйфатлы нечкә фильмнарын үстерү өчен яңа техника. Ультра югары вакуум шартларында, җылыту миче барлык кирәкле компонентлар белән җиһазландырылган һәм атом яки молекуляр нурны туплаганнан соң барлыкка килгән тишекләр аша, бер кристалл субстратның тиешле температурасына туры инъекция, молекуляр нурны контрольдә тота. субстратны бер үк вакытта сканерлау, ул кристалл тигезләү катламнарындагы молекулаларны яки атомнарны "үсеш" субстратында нечкә пленка ясый ала.

MBE җиһазларының нормаль эшләве өчен, югары чисталык, түбән басым һәм ультра чиста сыек азот өзлексез һәм тотрыклы рәвештә җиһазның суыту камерасына китерелергә тиеш. Гомумән алганда, сыек азот белән тәэмин итүче танкның чыгару басымы 0,3МПа белән 0,8МПа арасында. 1: 700 га якын газ-сыеклык катнашлыгында сыек азот торбада газланганнан соң, ул күп күләмдә сыек азот агымын биләячәк һәм сыек азот торбасы ахырында нормаль агымны киметәчәк. Моннан тыш, сыек азот саклау савытында чистартылмаган чүп-чар булырга мөмкин. Сыек азот торбасында дымлы һава булу шулай ук ​​боз шлаклары барлыкка китерәчәк. Әгәр дә бу пычраклар җиһазга ташланса, бу җиһазга көтелмәгән зыян китерәчәк.

Шуңа күрә, ачык саклагычтагы сыек азот MBE җиһазларына тузансыз цехта югары эффективлык, тотрыклылык һәм чиста, һәм түбән басым, азот, пычраклар юк, 24 сәгать өзлексез, мондый транспорт белән идарә итү системасы. квалификацияле продукт.