Молекуляр нур эпитаксиясе (MBE) турында кыскача мәгълүмат
Молекуляр нур эпитаксисы (MBE) технологиясе 1950 елларда вакуум парландыру технологиясен кулланып ярымүткәргеч юка пленка материалларын әзерләү өчен эшләнгән. Югары вакуум технологиясе үсеше белән, бу технология ярымүткәргеч фәне өлкәсенә дә кулланылды.
Ярымүткәргеч материалларны тикшерүнең мотивациясе - системаның эшчәнлеген яхшыртырга мөмкин булган яңа җайланмаларга ихтыяҗ. Үз чиратында, яңа материал технологияләре яңа җиһазлар һәм яңа технологияләр җитештерергә мөмкин. Молекуляр нур эпитаксиясе (MBE) - эпитаксиаль катлам (гадәттә ярымүткәргеч) үсеше өчен югары вакуум технологиясе. Ул бер кристалл субстратка тәэсир итүче чыганак атомнары яки молекулаларның җылылык нурын куллана. Процессның ультра югары вакуум үзенчәлекләре яңа үскән ярымүткәргеч өслекләрдә изоляция материалларын in situ металлизацияләү һәм үстерү мөмкинлеген бирә, нәтиҗәдә пычранусыз интерфейслар барлыкка килә.
MBE технологиясе
Молекуляр нур эпитаксиясе югары вакуумда яки ультра югары вакуумда үткәрелде (1 x 10-8Па) мохит. Молекуляр нур эпитаксиясенең иң мөһим аспекты - аның түбән утыру тизлеге, ул гадәттә пленканың сәгатенә 3000 нм дан кимрәк тизлектә эпитаксиаль үсүенә мөмкинлек бирә. Мондый түбән утыру тизлеге башка утырту ысуллары кебек үк чисталык дәрәҗәсенә ирешү өчен җитәрлек югары вакуум таләп итә.
Югарыда тасвирланган ультра югары вакуумга туры килү өчен, MBE җайланмасы (Knudsen күзәнәге) суыту катламына ия, һәм үсеш камерасының ультра югары вакуум мохитен сыек азот әйләнеше системасы ярдәмендә сакларга кирәк. Сыек азот җайланманың эчке температурасын 77 Кельвинга (−196 °C) кадәр суыта. Түбән температуралы мохит вакуумдагы катнашмалар күләмен тагын да киметергә һәм юка пленкалар утыру өчен яхшырак шартлар тудырырга мөмкин. Шуңа күрә, MBE җиһазлары өчен -196 °C сыек азотны өзлексез һәм тотрыклы тәэмин итү өчен махсус сыек азот суыту әйләнеше системасы кирәк.
Сыек азот белән суыту әйләнеше системасы
Вакуум сыек азот суыту циркуляция системасы, нигездә, түбәндәгеләрне үз эченә ала:
● криоген бак
● төп һәм тармаклы вакуум каплагычлы торба / вакуум каплагычлы шланг
● MBE махсус фаза сепараторы һәм вакуум каплагычлы чыгару торбасы
● төрле вакуум каплагычлы клапаннар
● газ-сыеклык киртәсен
● вакуум каплагычлы фильтр
● динамик вакуум насосы системасы
● Алдан суыту һәм чистарту җылыту системасы
HL Cryogenic Equipment Company MBE сыек азот суыту системасына ихтыяҗны күрде, MBE технологиясе өчен махсус MBE сыек азот суыту системасын һәм вакуум изоляциясенең тулы комплектын уңышлы эшләү өчен оешкан техник нигез булдырды.edкүп кенә предприятиеләрдә, университетларда һәм фәнни-тикшеренү институтларында кулланылган торба системасы.
HL криоген җиһазлары
1992 елда оешкан HL Cryogenic Equipment - Кытайдагы Chengdu Holy Cryogenic Equipment компаниясенә караган бренд. HL Cryogenic Equipment югары вакуумлы изоляцияләнгән криоген торбалар системасын һәм аңа бәйле ярдәм җиһазларын проектлау һәм җитештерү белән шөгыльләнә.
Күбрәк мәгълүмат алу өчен, зинһар, рәсми сайтка керегезwww.hlcryo.com, яки электрон почта ашаinfo@cdholy.com.
Бастырылган вакыты: 2021 елның 6 мае
